据悉,长三角G60激光联盟单位亚威艾欧斯通过引进技术再创新,与德国通快公司密切合作,开发了激光剥离设备,在关键指标和工艺性能方面均达到进口设备水平。

激光剥离(Laser-Lift-Off)作为柔性OLED制程的核心工艺之一,长期被韩国设备供应商所垄断。长三角G60激光联盟单位亚威艾欧斯通过引进技术再创新,与德国通快公司密切合作,大幅缩短了研发进程,在关键指标和工艺性能方面均达到进口设备水平。

DPSS激光剥离是指通过固体纳秒紫外激光辐照,实现有机发光显示器件(PI膜)与搭载的玻璃基板分离,与传统的准分子脉冲激光剥离相比,具有能量输入稳定、生产效率高、不需要定期更换工作气体等优势。


【资料图】

据媒体报道Samsung Display其A3线主要采用了DPSS LLO设备,因DPSS技术较准分子激光器使用和维护成本低,并可以减少设备采购总数量。

【激光剥离工艺示意图】

长三角G60激光联盟单位亚威艾欧斯激光剥离设备搭载的DPSS激光光学系统,能量利用率达85%以上。中德韩联合研发的“Z”型折叠光路,将整个线光斑光学系统长度缩短30%。该系统整形后的线光斑长度400-750mm(可调节)、宽度30μm,可同时应对黄色和透明PI两种产品的激光剥离工艺,且工艺品质及加工效率有大幅度提升。

【光路示意图】

【线光斑】

【激光剥离柔性显示屏样品】

长三角G60激光联盟单位亚威艾欧斯激光剥离设备,已对国内数家显示面板厂商提供的样品进行了测试,效果良好,完全达到客户技术要求。

随着显示面板企业对使用成本和效率要求的不断提高,导入DPSS激光剥离工艺是大势所趋,亚威艾欧斯将继续努力并与客户密切协同,加快实现量产交付,为柔性OLED制程关键设备的进口替代做出贡献。

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